規(guī)格參數(shù)：
| 項目 | 規(guī)格 |
| 型號 | SRS-1CS |
| 對象基板尺寸 | 大小：70W×70Lmm以下，高：保持面上下共 10mm以下 |
| 裝置尺寸 | 加熱爐：320（W）×285（D）×310（H）（mm） 制御部：290（W）×235（D）×270（H）（mm） |
| 加熱方式 | 上面：熱風，下面：遠紅外線輻射 |
| 冷卻方式 | 導入外部氣體（氮氣或空氣） 附帶冷卻用流量調(diào)整閥門 |
| 電源 | 3相 200V 50/60Hz 3kVA |
| 外部氣體 | 0.3～0.5MPa 100升/min(MAX) |
| 爐內(nèi)氧濃度 （氮氣使用時） | 最低100ppm(爐內(nèi)密閉構造) |
| 基板托盤 | 平板 |
| 上面加熱 | 熱風式：約2.8kW（約350W×8系列） ※可對基準噴嘴進行偏差設定 |
| 下面加熱 | 遠紅外線加熱器：約360W |
| 溫度精度 | 5℃以內(nèi)（最大基板中央50W×50Lmm范圍內(nèi)） |
| 測定溫度 | 常溫～330℃ |
| 測定點數(shù) | 3點 |
| 氮氣供給機能 | 流量調(diào)整閥門 25?/min |
| 控制用專用軟件 | SRS-1CS OS：Windows、XP |
| 裝置重量 | 加熱爐：約12kg 控制部：約8kg |
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| 攝像觀察系統(tǒng)(VDM-2) | 上面觀察 |
附件下載：
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打開手機掃描二維碼
